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　　PG电子模拟器金融界2024年6月28日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光液及其用途“，公开号CN8.8，申请日期为2022年12月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种化学机械抛光液，包括研磨颗粒、研磨颗粒稳定剂、腐蚀、络合剂、氧化剂、pH调节剂和水。本发明中的一种化学机械抛光液，通过在抛光液中加入合适研磨颗粒稳定剂，抑制TEOS的去除速率，并提高Co/TEOS的选择比，同时减少晶圆表面划伤缺陷数量。